微型單溫區CVD系統
產品型號: TFC-1200-60-I-440
所屬分類:TFC化學氣相沉積
產品時間:2022-03-29
簡要描述:微型單溫區CVD系統管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設備,該設備在常規產品上進行了一系列的改進,包括:供氣系統集成、真空系統集成等。體現出體積小、操作方便、智能化程度高等特點。
詳細說明:
微型單溫區CVD系統管式爐
是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設備,該設備在常規產品上進行了一系列的改進,包括:供氣系統集成、真空系統集成等。體現出體積小、操作方便、智能化程度高等特點。
產品特點
1.雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C;
2.高純狀氧化鋁纖維絕緣層,節約能源;
3.爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命。
